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什么是AMO圆光栅?它是如何复制的?

发布时间: 2022-08-28  点击次数: 34次
  AMO圆光栅载体为圆形的光栅。有径向光栅和切向光栅两种。径向光栅的栅线之延长线全部通过同一圆心;切向光栅的全部刻线与一个同心小圆相切,该小圆半径很小,只有零点几到几毫米。AMO圆光栅主要用来计量转动的角位移量,且多用透射式的。
 
  工作原理:
  AMO圆光栅,非常适合带有大口径通孔的应用。它不仅具备非常宽松的安装公差,而且可以配用ADT进行远程校准和深入诊断,故其安装十分简便。借助一系列电子信号处理算法,例如AGC、AOC和ABC等,可进一步增强测量信号的精度。
  AMO圆光栅还通过新的检测器设计具备了第三层的信号滤波功能,这有助于更好地消除因栅尺污染产生的非谐波信号频率。所有这些信号调节功能组合在一起,能够实现极低的SDE,并且减少了因污染导致的信号波动。
 
  结构:
  刻画在玻璃盘上的光栅称为AMO圆光栅,用来测量角度或角位移。根据栅线刻画的方向圆光栅可分为两种:一种是径向光栅,其栅线的延长线全部通过光栅盘的圆心;另一种是切向光栅,其全部栅线与一个和光栅盘同心的直径只有零点几毫米或几毫米的小圆相切。
 
  复制:
  AMO圆光栅复制一般有虫胶镀铬和光刻胶曝光复制两种。
  1、虫胶复制:
  虫胶复制的工艺流程是:毛坯清洁处理、涂胶、曝光、显影、镀铬;
  2、光刻胶复制:
  光刻胶复制的工艺流程是:镀铬、涂胶、预烘、曝光、显影、坚膜、腐蚀、清洁处理;
  采用光刻胶复制AMO圆光栅、有接触式和接近式两种。

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